O WATOM LS é uma solução de metrologia óptica especialmente desenvolvida para controle de processo de retificação e polimento da borda de wafers em diversos materiais semicondutores. Ele emprega tecnologia patenteada de medição por light-sectioning (seção de luz) para determinar com precisão o perfil da borda do wafer, inclusive dentro da ranhura (notch).
Utilizando um sensor óptico combinado com uma câmera CMOS, a linha de laser projetada na borda do wafer é capturada e processada por algoritmos matemáticos proprietários da KoCoS para extrair as características geométricas da borda (raios, ângulos, geometria da ranhura, etc.).
O design modular do WATOM LS permite integração com sistemas automatizados de manuseio (AMHS) ou carregamento manual, com suporte para diversos tamanhos e tipos de substratos como silício, carbeto de silício, arsenieto de gálio, germânio, vidro, safira, entre outros.
Aplicações Típicas
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Controle de processo de retificação e polimento de borda de wafers na manufatura de semicondutores.
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Verificação geométrica da borda do wafer e da ranhura (notch), para assegurar qualidade e cumprimento de tolerâncias.
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Diagnóstico de defeitos de borda, chanfros, irregularidades ou desgaste excessivo da borda.
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Integração em linhas de produção com automação para avaliação 100 % das peças produzidas.
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Aplicações laboratoriais de caracterização de wafers durante desenvolvimento de processo et al.
