O WATOM T é um sistema óptico compacto de medição de perfil de borda de wafer, projetado para aplicações de teste em laboratório, amostras ou produções de baixo volume, com exigência de precisão e confiabilidade.
Ele oferece uma pegada reduzida (“small footprint”) e mantém a precisão consistente típica dos sistemas WATOM mais avançados.
O dispositivo aceita dois tamanhos de wafer para medição rápida de amostras e possui tela sensível ao toque (touchscreen) para operação local com interface amigável para operadores, especialistas e equipe de manutenção.
Aplicações Típicas
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Medição de perfil de borda de wafers em ambiente de laboratório ou sala de teste.
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Verificação de geometria de bordas para controle de qualidade de wafers de produção piloto ou baixa cadência.
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Avaliação de perfil de borda (incluindo notch / flat) sem necessidade de automação complexa.
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Testes rápidos de amostras, compensando equipamentos maiores quando se pretende reduzir custo ou espaço.
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Integração com fluxos de teste amostral em processos de fabricação de wafers.
Vantagens e Diferenciais
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Sistema compacto com menor footprint, adequado para laboratórios ou células de teste pequenas.
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Alto grau de precisão com especificações rigorosas em características críticas de borda.
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Capacidade para medir notch, flat e diâmetro como padrão.
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Operação simplificada via touchscreen local.
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Projeto otimizado para baixos volumes ou uso amostral, sem necessidade de automação pesada.
