O WATOM CCD é um sistema de medição óptica para contorno de borda de wafers que utiliza tecnologia de projeção de perfil como alternativa ao método de varredura por laser (LS). Ele é ideal para medições de perfil menos exigentes, onde a definição da ranhura (“notch”) não é indispensável.
Na operação, uma fonte de luz telecêntrica ilumina o contorno da borda do wafer, e um sensor óptico (câmera CMOS) captura a silhueta projetada do perfil. A imagem resultante é então processada por algoritmos de medição para extrair os parâmetros geométricos da borda.
O design modular do WATOM permite integração com automação (AMHS), podendo trabalhar com manuseio manual ou carregamento automático de wafers.
Aplicações Típicas
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Controle de qualidade de bordas de wafers após polimento.
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Inspeção dimensional de bordas em wafers onde a ranhura não precisa ser medida.
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Uso em linhas de produção semicondutoras com exigências moderadas de precisão para perfil de borda.
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Integração com automação para inspeção inline ou semi-automatizada.
